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780100 產品規格書
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產品信息
二維掃描平臺

產品編號:780100
產品描述
二維掃描平臺主要由鋁合金支架、電機XI、電機Y1、電機 Z1、電機X2、電機Y2、電機Z2、電機控制器、樣品支架、 探頭1、探頭2組成,可以進行太赫茲透射譜、反射譜、反射 成像、透射成像的測量。
其中,樣品支架用于放置待測樣 品,電機XI、電機Y1用于控制探頭1進行X、Y兩個方向的平 移,電機X2、電機Y2用于控制探頭2進行X、Y兩個方向的平移,電機Z1、電機Z2分別可對探頭1、探頭2進行調焦,從而 適應不同的樣品厚度。
規格參數
X / Y行程 500*500mm
Z向調焦距離 ±20mm
XY閉環分辨率 5um
XY定位精度 < 3 um
靜態平行度 0.1 m
運動直線度 10 um
運動平行度 15 um
偏擺誤差 30"
俯仰誤差 30"
最大運動速度 100mm/s
應用范圍 二維掃描式成像/大面積樣品多點探測
聯合光科技(北京)有限公司 · 一站式光學器件現貨供應商
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