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526967 產品規格書
526967 產品規格書
產品信息
垂直升降臺 臺面寬度170mm 行程300mm 伺服電機

產品編號:526967
垂直升降臺
聯合光科提供各類升降臺,包括步進電機升降臺、直線電機升降臺、伺服電機升降臺,適用于行程范圍在0-300mm之間的各項應用。526952和526953 是兩款步進電機升降臺,升降臺的臺面平行于安裝面沿Z軸進行升降運動,它結構堅固、性能卓越。526954和526955是兩款直線電機升降臺,它的臺面垂直于安裝面,沿Z軸進行升降運動,結構簡單且擁有極佳的微步能力和位置穩定性。升降臺廣泛應用于各種精密的科研、工業生產環節,其中包括 半導體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。
位移臺插電即用,控制器配備觸摸顯示屏方便調試與控制,接口豐富方便二次開發。
規格參數
行程 300mm
負載 20kg
分辨率 0.5μm
最小運動增量 1μm
單向重復定位精度(保證值) ±4μm
單向重復定位精度(典型值) ±1μm
雙向重復定位精度(保證值) ±5μm
雙向重復定位精度(典型值) ±3μm
準確度(保證值) ±20μm
準確度(典型值) ±15μm
最大速度 100mm/s
直線度 15μm
平整度 15μm
Yaw-偏擺 50″
Pitch-俯仰 50″
持續推力 /
峰值推力 /
重量 30.3kg
適配控制器 528259/528260/528261/528262/528263/528265/528253
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