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526954 產(chǎn)品規(guī)格書

產(chǎn)品信息

垂直升降臺臺面寬度140mm 行程100mm 鋁合金直線電機+交叉滾柱導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號：526954

產(chǎn)品描述

升降臺適用于行程范圍在0-100mm之間的各項應(yīng)用。526952和526953 是兩款步進電機升降臺，升降臺的臺面平行于安裝臺面沿Z軸進行升降運動，它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越。526954和526955是兩款直線電機升降臺，它的臺面垂直于安裝，沿Z軸進行升降運動，結(jié)構(gòu)簡單且擁有極佳的微步能力和位置穩(wěn)定性。升降臺廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。
位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

規(guī)格參數(shù)

行程 100mm

負(fù)載 4Kg

分辨率 0.1μm

最小運動增量 0.3μm

單向重復(fù)定位精度(保證值) ±0.5μm

單向重復(fù)定位精度(典型值) ±0.3μm

雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±1μm

雙向重復(fù)定位精度(典型值) ±0.5μm

準(zhǔn)確度(保證值) ±2μm

準(zhǔn)確度(典型值) ±1μm

最大速度 100mm/s

直線度 10μm

平整度 10μm

Yaw-偏擺 20″

Pitch-俯仰 20″

持續(xù)推力 17.6N

峰值推力 88N

重量 10.2kg

適配控制器 528259/528260/528261/528262/528263/528265

尺寸圖

關(guān)于產(chǎn)品

1. 產(chǎn)品圖均為渲染效果圖，僅供參考。

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