直線電機驅動平移臺適用于行程范圍在0-200mm之間的各項應用。 它結構堅固、性能卓越，廣泛應用于各種精密的科研、工業生產環節，其中包括 半導體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 與絲杠驅動的平移臺不同，526667產品采用了中心驅動的高效3相同步無鐵芯直線電機作為驅動元件。 這種驅動系統不僅能以超靜音方式運行，還能提高系統的運行速度、加速度、響應靈敏度等。 避免了電機電刷和傳動螺桿的磨損，無故障運行時間大于2萬小時。 內部集成了高精度光柵尺作為位置反饋元件，控制器可對光柵尺信號進行插補以提高系統的定位靈敏度、重復定位精度和準確度。 位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調試與控制，接口豐富方便二次開發。

產品特點
(1) 行程覆蓋：50mm、100mm、150mm與200mm。
(2) 堅固的臺身設計可確保以200mm×200mm的最大行程進行可靠的XY軸組裝。
(3) 高分辨率的光柵尺編碼器反饋能以亞微米的可重復定位精度進行精確 定位。
(4) 超靜音位移臺，適用于實驗室環境與高性能要求的工業場所。