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SK-1321L 產品規格書
SK-1321L 產品規格書
產品信息
OHARA高質量石英玻璃 最大尺寸Φ500 xt100mm

SK-1300純度極高,OH含量低得多,是第一種可用于半導體和液晶顯示行業的合成熔融石英

產品編號:SK-1321L
產品描述
由于對光纖制造技術的傳統VAD(氣相軸向沉積)方法進行了重大改進,成功開發了合成熔融石英SK-1300系列。 與傳統直接法相比,SK-1300系列純度極高,OH含量低得多,因此它是第一種可用于半導體和液晶顯示行業的合成熔融石英。
SK-1300系列在光學特性方面是最先進的技術,因為它提供了很高的分辨率紫外線透射,無微夾雜,耐日曬,此外還具有耐熱性、機械強度和耐化學性。 這些產品可用于半導體、光學和所有物理或化學相關研究的各種工業應用。
可用于: 各種器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶體管LCD)、SOI(絕緣硅)等;超大規模集成電路和液晶顯示器用光掩?;?;ULSI制造工藝用反應器爐管、夾具和工具;放電管;用于紫外和真紫外的光學元件,透鏡,反射鏡,窗口。

產品特點
1. 超高純度(總金屬雜質小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下;
3. 確保高耐熱性;
4. 實現高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個波長范圍內都具有優異的特性);
5. 不含氣泡或條紋;
6. 優異的抗激光性能
規格參數
最大尺寸(mm) Φ500 xt100
條紋 Class 1 Grade"A"
均勻性 1D≤2x10-6
雙折射(nm/cm2) ≤3
氣泡雜質(mm2/100cm3) 0 ~ 0.03
熒光
最佳透過范圍(nm)(>80%) 170~2500
光學元件表面清潔方法

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